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論文

Estimation of C$$_{2}$$ and C$$_{3}$$ hydrocarbon production yields of graphite due to hydrogen ion bombardment

山田 禮司*

J.Vac.Sci.Technol.,A, 5(3), p.305 - 307, 1987/03

黒鉛に水素イオンを衝撃するとC$$_{2}$$およびC$$_{3}$$炭化水素が生成することが、最近筆者により見い出されている。C$$_{2}$$炭化水素はC$$_{2}$$H$$_{2}$$,C$$_{2}$$H$$_{4}$$,C$$_{2}$$H$$_{6}$$より、C$$_{3}$$炭化水素はC$$_{3}$$H$$_{4}$$、C$$_{3}$$H$$_{6}$$,C$$_{3}$$H$$_{8}$$より成り、各々の収率を直接、四重極質量分析計(QMS)で測定することは出来ない。ここでは、QMSで測定した信号強度より、各炭化水素の収率を数値解で求める方法を提案している。この方法によれば、各炭化水素のクラッキング係数と相対感度を標準ガスを用いて求めれば、QMSの実測値から各収率が求められる。

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